MEB /EDX

MEB/EDX

Matériel : Microscope Electronique à Balayage - SOLARIS X et MEB-FIB Plasma/Gallium +EDX-EBSD
Modes détection disponibles :
   - SE : Electrons secondaires avec contraste de topographie.
     - GSE : Gaz Electrons secondaire (présence vapeur eau).
     - BSE : Electrons rétrodiffusés avec contraste chimique (éléments lourds en clair sur les images BSE)
Echantillon : 8" max., 130 mm X & Y
Résolution : 0.5 nm@30kV

Domaine d'application

- Etude de surface (défauts ...),

- Etude de section polie (dimensionnement charge, épaisseur couches ...),

- Caractérisation de matériaux (analyse élémentaire tout élément) ...

- Biologie : Jusqu'à présent, les contraintes de vide imposées par la microscopie électronique à balayage (les électrons doivent être accélérés sous un vide poussé) constituaient un handicap pour beaucoup d'applications. Par exemple, les échantillons biologiques, les produits hydratés, huileux ou isolants qui nécessitent l'observation dans leur état naturel.

Identification et quantification par MEB/EDX

Principe

Un MEB (Microscope Electronique à Balayage) utilise un faisceau d'électrons pour obtenir des images agrandies d'une très bonne résolution. Il peut également servir pour identifier des éléments présents dans l'échantillon grâce à leur propriété d'émission de RX au contact des électrons.
On parle alors de microanalyse dispersive en énergie (EDS), dans laquelle l'émission X est traitée électroniquement. Les énergies des pics présents sont déterminées et elles sont comparées automatiquement à un fichier d'émission X d'énergies connues.
L'analyse est qualitative mais on peut avoir accès à des teneurs élémentaires relativement précises.
Les analyses sont effectuées sur échantillons bruts ou bien après métallisation (augmentation de la sensibilité).
Le seuil de détection des éléments varie en fonction du mode d'analyse, il est de l'ordre de 500 ppm (0.05 %w).

Avantages

    - Permet une détection (qualitative) des éléments de Carbone à Uranium (> 0,05 %w)
    - Technique non destructive,
    - Nécessite peu d'échantillon (quelques µg),
    - Pas de préparation d'échantillon